Yon etablisman fabwikasyon semi-conducteurs bezwen ranplase yon aparèy chofaj imèsyon PTFE ki echwe nan yon chanm konpak mouye ban. Espas ki disponib la se te yon plas 150 mm lajè sou miray tank la, 400 mm pwofondè, ak yon ouvèti bride 100 mm. Puissance ki nesesè a te 2.5 kW. Chofaj katalòg estanda yo te swa twò laj, twò long, oswa twò wo nan dansite watt pou espas la. Etablisman an te bezwen yon aparèy chofaj koutim ki anfòm plas la epi ki te opere nan yon dansite watt ki an sekirite.
Espesifye yon aparèy chofaj imèsyon PTFE pou yon chanm konpak mouye ban mande pou yon apwòch diferan pase espesifye pou yon tank plating gwo. Kontrent espas yo pi sere, chimi a souvan pi agresif, ak kondisyon inifòmite tanperati yo pi egzijan. Spesifikasyon an dwe balanse dansite watt, sipèfisi, ak anfòm fizik nan yon anvlòp piti anpil.
Analiz kontrent espas
Premye etap la se kat espas ki disponib jisteman. Nan yon chanm ban mouye, espas chofaj la souvan defini pa miray tank la sou yon bò, chemen an transpòtè wafer sou yon lòt, ak anba tank anba a. Volim ki disponib la ka yon fòm iregilye ke yon aparèy chofaj estanda pa ka ranpli.
Dimansyon kle yo se lajè maksimòm, pwofondè maksimòm, wotè maksimòm, ak clearance nan pati k ap deplase. Ouvèti bride a defini dyamèt maksimòm aparèy chofaj la ki ka mete. Pwofondè imèsyon an defini longè ki ka itilize pou chofe.
| Dimansyon | Kontrent tipik | Enpak sou konsepsyon aparèy chofaj |
|---|---|---|
| Disponib lajè | 100-200 mm | Limite lajè aparèy chofaj |
| Pwofondè ki disponib | 300-500 mm | Limite longè chofe |
| Ouvèti bride | 80-150 mm | Limite ensèsyon aparèy chofaj |
| Pwofondè imèsyon | 200-400 mm | Limite longè chofe |
| Clearance bay konpayi asirans | 50-100 mm | Limite protrusion |
Kontrent espas nan chanm konpak ban mouye
Watt Dansite ak Kalkil Sifas Sifas
Yon sèvis 2.5 kW nan yon dansite watt ki an sekirite nan 1.0 W/cm² mande pou 2,500 cm² nan sifas djenn. Nan yon chanm ki limite espas-, reyalize sipèfisi sa a mande pou yon konfigirasyon kontra enfòmèl ant L-oswa U-fòm.
Yon aparèy chofaj ki gen fòm L-ki gen yon seksyon vètikal 250 mm ak yon seksyon orizontal 350 mm bay 600 mm longè chofe. Nan yon dyamèt djenn 50 mm, sa bay apeprè 942 cm² nan sifas -mwens pase mwatye kondisyon an. Yon konfigirasyon milti-pas ak pas adisyonèl nesesè.
| Konfigirasyon aparèy chofaj | Longè chofe | Zòn sifas nan 32 mm | Zòn sifas nan 50 mm | Anfòm nan plas 150 mm |
|---|---|---|---|---|
| Dwat, 250 mm | 250 mm | 250 cm² | 393 cm² | Wi, men zòn ensifizan |
| L-fòm, 250 + 350 mm | 600 mm | 600 cm² | 942 cm² | Wi |
| U-fòm, 250 + 200 + 250 mm | 700 mm | 700 cm² | 1,100 cm² | Wi |
| Multi-pas, 4 × 250 mm | 1,000 mm | 1,000 cm² | 1.571 cm² | Wi |
| Multi-pas, 7 × 250 mm | 1,750 mm | 1.750 cm² | 2.749 cm² | Sere anfòm |
Konfigirasyon aparèy chofaj pou yon devwa 2.5 kW nan 1.0 W/cm² nan yon chanm kontra enfòmèl ant
Fitting aparèy chofaj la nan plas la
Chofaj la dwe anfòm nan ouvèti bride a ak nan plas ki disponib la. Yon aparèy chofaj ki gen yon lajè 350 mm pa pral anfòm nan yon ouvèti bride 100 mm. Solisyon an se oryante aparèy chofaj la vètikal pou ke lajè li aliyen ak pwofondè plas la epi epesè li yo aliyen ak ouvèti bride a.
Yon aparèy chofaj milti-pase ak yon longè chofe 250 mm, 350 mm lajè, ak 50 mm dyamèt pake ka antre nan yon ouvèti bride 100 mm si dyamèt pake a 50 mm ki aliyen ak ouvèti a. Yon fwa andedan tank la, aparèy chofaj la vire nan pozisyon.
Koule ak Inifòmite Tanperati nan espas ki sere
Nan yon chanm kontra enfòmèl ant, koule nan alantou aparèy chofaj la souvan limite pa miray la tank ki tou pre ak konpayi asirans lan wafer. Koule a ka inegal, ak gwo vitès sou yon bò ak vitès ki ba sou lòt la. Sa ka kreye pwen cho sou kote ki ba-vitès la.
Yon deflteur detache oswa yon gid koule ka distribye koule plis respire alantou aparèy chofaj la. Deflektè a ta dwe fèt pou anfòm nan espas ki disponib la epi dirije koule nan twou vid ki genyen ant pas yo.
Materyèl ak konstriksyon pou sèvis semiconductor
Zouti semi-kondiktè yo souvan mande pou materyèl ki wo -pite. Djenn PTFE a ta dwe jenn fi, polymère unfilled ak ekstrè ki ba. Bride a ta dwe solid PTFE oswa PTFE-aliyen asye pur. Anvlòp tèminal la ta dwe sele ak ayere pou anpeche kontaminasyon.
Yo ta dwe netwaye aparèy chofaj la ak pasiv anvan enstalasyon an. Nenpòt lwil manifakti rezidyèl oswa patikil ka kontamine beny pwosesis la.
Lè yon aparèy chofaj estanda pa ka anfòm chanm lan
Yon aparèy chofaj estanda raman adapte yon chanm kontra mouye ban. Espas ki disponib la twò piti, fòm nan twò iregilye, ak kondisyon pite yo twò strik. Yon konfigirasyon aparèy chofaj imèsyon PTFE koutim ak yon konsepsyon milti-pas, yon anprint kontra enfòmèl ant, ak yon patiraj tèminal sele abòde kòz rasin kontrent espas. Pwosesis spesifikasyon an mande dimansyon espas ki disponib yo, ouvèti bride a, pwofondè imèsyon an, chimi beny lan, pouvwa ki nesesè yo, ak kondisyon pite yo. Pou enstalasyon ki gen chanm kontra enfòmèl ant, aplikasyon sa a-apwòch espesifik bay sifas ki nesesè nan espas ki disponib la.
