Yon fab semi-conducteurs bezwen yon aparèy chofaj imèsyon PTFE koutim pou yon tank pwosesis mouye ban. Aparèy chofaj la te fèt kòrèkteman pou devwa tèmik, chimi a, ak kontrent espas yo. Li te enstale ak opere avèk siksè pou twa mwa. Lè sa a, depatman bon jan kalite fab la mande dokiman pou yon odit kliyan. Founisè aparèy chofaj la pa t 'kapab bay trasabilite materyèl, sètifikasyon fini sifas, oswa done ekstrè. Yo te retire aparèy chofaj la nan sèvis jiskaske yo ka jwenn dokiman an.
Semiconductor fabs gen dokiman ak sètifikasyon kondisyon ki ale pi lwen pase espesifikasyon elektrik ak tèmik aparèy chofaj la. Kondisyon yo kouvri pite materyèl, fini sifas, ekstrè, ak trasabilite. Yon aparèy chofaj imèsyon PTFE koutim pou sèvis semi-conducteurs dwe satisfè kondisyon sa yo, epi founisè a dwe bay dokimantasyon an pou pwouve li.
Materyèl trasabilite ak pite
PTFE yo itilize nan yon aparèy chofaj semi-conducteurs dwe retrace nan anpil résine. Founisè a dwe bay yon sètifika analiz (CoA) pou polymère a, ki montre nimewo loto a, manifakti a, ak pwopriyete kle yo-pwa molekilè, kristalinite, ak nivo enpurte.
PTFE a dwe jenn fi, polymère san plen. Ranpli PTFE-ki gen vè, kabòn, oswa lòt aditif-pa akseptab paske filler yo ka koule nan beny pwosesis la. Polymère a dwe ranpli egzijans pouriti pwosesis la, en ak extraable ions pi ba pase limites espesifye.
| Dokimantasyon | Ki sa li sètifye | Egzijans tipik |
|---|---|---|
| Rezin CoA | Anpil trasabilite, pwopriyete | Pwa molekilè, nivo enpurte |
| Sètifikasyon materyèl | Vyèj PTFE, pa gen okenn file | 100% jenn fi PTFE |
| Rapò ekstrè | Kontaminasyon ionik | <50 ppb per ion |
| Rapò fini sifas | Ra valè | <0.4 μm Ra |
| Enspeksyon dimansyon | Konfòmite tolerans | Pou chak desen |
Materyèl trasabilite ak dokiman pite pou aparèy chofaj semi-conducteurs PTFE
Fini sifas ak pwòpte
Pwosesis semi-conducteurs mande pou sifas lis, pwòp ki pa pyèj patikil oswa ki pa lage kontaminan. Djenn PTFE a dwe gen yon sifas fini 0.4 μm Ra oswa pi bon. Yon sifas ki pi graj ka kenbe patikil epi ankouraje fòmasyon biofilm.
Aparèy chofaj la dwe netwaye ak pasive anvan enstalasyon an. Pwosesis netwayaj la retire résidus fabrikasyon, lwil, ak patikil. Pwosesis pasivasyon an asire ke sifas la se chimikman inaktif epi li pa lage kontaminan nan beny pwosesis la.
Yon rapò fini sifas ak yon sètifikasyon netwayaj dokimante pwòpte aparèy chofaj la. Rapò a ta dwe gen ladan metòd mezi a, kote echantiyon yo genyen, ak rezilta yo.
Ekstraktab ak Leachables Tès
Tès ekstrè mezire liberasyon iyon, òganik, ak patikil ki soti nan aparèy chofaj la nan likid pwosesis la. Tès la enplike nan plonje aparèy chofaj la nan dlo ultrapur oswa yon likid pwosesis reprezantan nan tanperati opere pou yon peryòd defini, Lè sa a, analize likid la pou kontaminan.
Limit yo ekstrè depann sou pwosesis la. Pou pwosesis semi-conducteurs kritik, limit yo ka nan pati ki ba yo-pa-milya pou metal ak òganik. Rapò tès la dokimante rezilta yo epi sètifye ke aparèy chofaj la satisfè kondisyon pwosesis yo.
| Tès | Ki sa li mezire | Limit tipik | Metòd |
|---|---|---|---|
| Metal ekstrè | Fe, Cu, Ni, Cr, Zn | <50 ppb each | ICP-MS |
| Ekstrè òganik | TOC, òganik espesifik | <100 ppb TOC | HPLC, GC-MS |
| Lage patikil | Particles >0.2 μm | <100 particles/L | Kontwa patikil likid |
| Anyon ekstrè | Cl⁻, F⁻, SO₄²⁻ | <50 ppb each | Kwomatografi iyon |
Extractables egzijans tès pou aparèy chofaj semi-conducteurs PTFE
Sètifikasyon elektrik ak sekirite
Chofaj la dwe satisfè kondisyon sekirite elektrik fab la. Nan Amerik di Nò, sa a anjeneral vle di lis UL oswa ETL. An Ewòp, sa vle di CE make ak konfòmite ak direktiv ki aplikab yo.
Anvlòp tèminal la dwe satisfè nivo pwoteksyon ki apwopriye a -tipikman IP66 oswa NEMA 4X. Chofaj la dwe konpatib ak sistèm pwoteksyon fay tè fab la.
| Sètifikasyon | Rejyon | Ki sa li kouvri | Egzijans tipik |
|---|---|---|---|
| UL 499 | Amerik di Nò | Sekirite elektrik | Lis oswa rekonèt |
| CE | Ewòp | Sekirite, EMC | Marking ak deklarasyon |
| IP66 | Entènasyonal | Pwoteksyon antre | Tèminal patiraj |
| ATEX | Ewòp | Eksplozyon-prèv | Si atmosfè ki ka pran dife |
| SEMI S2 | Semiconductor | Gid sekirite | Fab egzijans |
Sètifikasyon elektrik ak sekirite pou aparèy chofaj semi-conducteurs PTFE
Pake trasabilite ak dokimantasyon
Pake dokiman pou yon aparèy chofaj semi-conducteurs gen ladann sètifikasyon materyèl yo, rapò fini sifas yo, rapò tès ekstrè yo, sètifikasyon elektrik yo ak rapò enspeksyon dimansyon yo. Pake a dwe retrace nan nimewo seri aparèy chofaj espesifik la.
Depatman kalite fab la revize pake a anvan yo aksepte aparèy chofaj la. Dokiman enkonplè ka retade enstalasyon oswa lakòz rejè.
Lè aparèy chofaj estanda yo pa ka satisfè egzijans dokimantasyon yo
Yo pa apwovizyone aparèy chofaj imèsyon estanda PTFE ak pake dokiman ki nesesè pou sèvis semi-conducteurs. Yon aparèy chofaj imèsyon PTFE koutim ki fèt pou sèvis semi-conducteurs gen ladan dokimantasyon an, tès la, ak trasabilite ki nesesè yo. Pwosesis spesifikasyon mande pou chimi pwosesis la, kondisyon pite yo, spesifikasyon fini sifas yo, limit ekstrè yo, ak sètifikasyon elektrik yo.
