Yon etablisman fabrikasyon semi-conducteurs bezwen ranplase yon aparèy chofaj imèsyon PTFE ki echwe nan yon zouti ban mouye kontra enfòmèl ant. Espas ki disponib la se te yon plas 150 mm lajè sou miray tank la, 400 mm pwofondè, ak yon ouvèti bride 100 mm. Puissance ki nesesè a te 2.5 kW. Chofaj katalòg estanda yo te swa twò laj, twò long, oswa twò wo nan dansite watt pou espas la. Etablisman an te bezwen yon aparèy chofaj koutim ki anfòm plas la epi ki te opere nan yon dansite watt ki an sekirite.
Espesifye yon aparèy chofaj imèsyon PTFE pou yon zouti semi-kondiktè ki limite espas - mande yon apwòch diferan pase espesifye pou yon tank plating gwo. Kontrent espas yo pi sere, chimi a souvan pi agresif, ak kondisyon inifòmite tanperati yo pi egzijan. Spesifikasyon an dwe balanse dansite watt, sipèfisi, ak anfòm fizik nan yon anvlòp piti anpil.
Analiz kontrent espas
Premye etap la se kat espas ki disponib jisteman. Nan yon zouti semi-conducteurs, espas aparèy chofaj la souvan defini pa miray tank la sou yon bò, chemen konpayi asirans lan sou yon lòt, ak anba tank anba a. Volim ki disponib la ka yon fòm iregilye ke yon aparèy chofaj estanda pa ka ranpli.
Dimansyon kle yo se lajè maksimòm, pwofondè maksimòm, wotè maksimòm, ak clearance nan pati k ap deplase. Ouvèti bride a defini dyamèt maksimòm aparèy chofaj la ki ka mete. Pwofondè imèsyon an defini longè ki ka itilize pou chofe.
| Dimansyon | Kontrent tipik | Enpak sou konsepsyon aparèy chofaj |
|---|---|---|
| Disponib lajè | 100-200 mm | Limite lajè aparèy chofaj |
| Pwofondè ki disponib | 300-500 mm | Limite longè chofe |
| Ouvèti bride | 80-150 mm | Limite ensèsyon aparèy chofaj |
| Pwofondè imèsyon | 200-400 mm | Limite longè chofe |
| Clearance bay konpayi asirans | 50-100 mm | Limite protrusion |
Kontrent espas nan zouti ban mouye semi-conducteurs
Watt Dansite ak Kalkil Sifas Sifas
Yon sèvis 2.5 kW nan yon dansite watt ki an sekirite nan 1.0 W/cm² mande pou 2,500 cm² nan sifas djenn. Nan yon zouti ki limite-espas, reyalize sipèfisi sa a mande pou yon konfigirasyon milti-pase.
Nan yon dyamèt djenn 50 mm, 2,500 cm² mande pou 1,592 mm nan longè chofe. Nan yon tank 400 mm gwo twou san fon ak 300 mm nan imèsyon ka itilize, ki tradwi a sis pase nan 265 mm chak. Pakèt milti-pase a anfòm nan yon anprint apeprè 300 × 250 mm.
| Dyamèt djenn | Zòn Sifas pou chak 100 mm | Longè chofe pou 2,500 cm² | Pase nan 300 mm | Anprint |
|---|---|---|---|---|
| 32 mm | 100 cm² | 2,500 mm | 9 | 300 × 250 mm |
| 40 mm | 126 cm² | 1,984 mm | 7 | 300 × 220 mm |
| 50 mm | 157 cm² | 1,592 mm | 6 | 300 × 200 mm |
| 63 mm | 198 cm² | 1,263 cm² | 5 | 300 × 180 mm |
Konfigirasyon milti-pase pou yon sèvis 2.5 kW nan 1.0 W/cm²
Mete pake milti-pase a nan plas la
Pakèt milti-pase a dwe antre nan ouvèti bride a ak nan plas ki disponib la. Yon pake ki gen yon lajè 200 mm pa pral anfòm nan yon ouvèti bride 100 mm. Solisyon an se oryante pas yo vètikal pou ke pake a se etwat nan yon direksyon ak lajè nan lòt la, epi insert li nan bride a nan oryantasyon an etwat.
Yon pake ki gen sis pase 50 mm dyamèt ki gen yon distans 30 mm apa gen yon lajè apeprè 6 × 50 + 5 × 30=450 mm nan yon direksyon ak 50 mm nan lòt la. Si ouvèti bride a se 100 mm, pake a ka mete ak dimansyon 50 mm ki aliyen ak ouvèti a, Lè sa a, vire nan pozisyon.
| Pakèt Konfigirasyon | Lajè (pase) | Pwofondè (Dyamèt Pase) | Adapte 100 mm Flange | Slot 150 mm |
|---|---|---|---|---|
| 4 pas, 50 mm, 30 mm espas | 290 mm | 50 mm | Wi (wotasyon) | Wi |
| 5 pase, 50 mm, 30 mm espas | 370 mm | 50 mm | Wi (wotasyon) | Wi |
| 6 pas, 50 mm, 30 mm espas | 450 mm | 50 mm | Wi (wotasyon) | Marginal |
| 6 pas, 40 mm, 25 mm espas | 365 mm | 40 mm | Wi (wotasyon) | Wi |
Pakèt konfigirasyon ak anfòm nan ouvèti bride
Koule ak Inifòmite Tanperati nan espas ki sere
Nan yon zouti ki limite-espas, koule alantou aparèy chofaj la souvan limite pa miray tank ki tou pre a ak pòtè wafer la. Koule a ka inegal, ak gwo vitès sou yon bò ak vitès ki ba sou lòt la. Sa ka kreye pwen cho sou kote ki ba-vitès la.
Yon deflteur detache oswa yon gid koule ka distribye koule plis respire alantou pake a. Deflektè a ta dwe fèt pou anfòm nan espas ki disponib la epi dirije koule nan twou vid ki genyen ant pas yo. Yon ti ediktè kapab tou itilize pou ranfòse vitès lokal yo.
Materyèl ak konstriksyon pou sèvis semi-conducteurs
Zouti semi-kondiktè yo souvan mande pou materyèl ki wo -pite. Djenn PTFE a ta dwe jenn fi, polymère unfilled ak ekstrè ki ba. Bride a ta dwe solid PTFE oswa PTFE-aliyen asye pur. Anvlòp tèminal la ta dwe sele ak ayere pou anpeche kontaminasyon.
Yo ta dwe netwaye aparèy chofaj la ak pasiv anvan enstalasyon an. Nenpòt lwil manifakti rezidyèl oswa patikil ka kontamine beny pwosesis la.
Lè yon aparèy chofaj estanda pa ka anfòm zouti a
Yon aparèy chofaj estanda raman adapte yon zouti semi-kondiktè ki limite espas-. Espas ki disponib la twò piti, fòm nan twò iregilye, ak kondisyon pite yo twò strik. Yon konfigirasyon aparèy chofaj imèsyon PTFE koutim ak yon pake milti-pase, yon bride PTFE solid, ak yon patiraj tèminal sele ki fèt pou zouti espesifik la. Pwosesis spesifikasyon an mande dimansyon espas ki disponib yo, ouvèti bride a, pwofondè imèsyon an, chimi beny lan, pouvwa ki nesesè yo, ak kondisyon pite yo.
